Азотын трифторид (NF3) өндөр цэвэршилттэй хий
Үндсэн мэдээлэл
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Энэ материал юу вэ?
Азотын трифторид (NF3) нь өрөөний температур, атмосферийн даралтад өнгөгүй, үнэргүй хий юм. Дунд зэргийн даралтын дор шингэрүүлж болно. NF3 нь хэвийн нөхцөлд тогтвортой бөгөөд амархан задардаггүй. Гэсэн хэдий ч энэ нь өндөр температурт эсвэл тодорхой катализаторын нөлөөн дор задарч болно. NF3 нь агаар мандалд цацагдах үед дэлхийн дулаарлын өндөр потенциалтай (GWP).
Энэ материалыг хаана ашиглах вэ?
Электроникийн үйлдвэрт цэвэрлэгч бодис: NF3 нь хагас дамжуулагч, плазмын дэлгэцийн хавтан (PDP) болон бусад электрон эд ангиудын гадаргуугаас исэл гэх мэт үлдэгдэл бохирдуулагчийг цэвэрлэх цэвэрлэгээний бодис болгон өргөн хэрэглэгддэг. Энэ нь эдгээр гадаргууг гэмтээхгүйгээр үр дүнтэй цэвэрлэж чаддаг.
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд сийлбэрлэх хий: NF3 нь хагас дамжуулагчийг үйлдвэрлэх процесст сийлбэрлэх хий болгон ашигладаг. Энэ нь интеграл хэлхээг үйлдвэрлэхэд түгээмэл хэрэглэгддэг цахиурын давхар исэл (SiO2) болон цахиурын нитрид (Si3N4)-ийг сийлэхэд үр дүнтэй байдаг.
Өндөр цэвэршилттэй фторын нэгдлүүдийн үйлдвэрлэл: NF3 нь фтор агуулсан төрөл бүрийн нэгдлүүдийг үйлдвэрлэхэд зориулсан фторын үнэ цэнэтэй эх үүсвэр юм. Үүнийг фторполимер, фтор нүүрстөрөгч, тусгай химийн бодис үйлдвэрлэхэд урьдал материал болгон ашигладаг.
Хавтгай дэлгэцийн үйлдвэрлэлд плазм үүсгэх: NF3 нь шингэн болор дэлгэц (LCD) болон PDP зэрэг хавтгай дэлгэц үйлдвэрлэхэд плазм үүсгэхийн тулд бусад хийтэй хамт ашиглагддаг. Плазм нь хавтанг үйлдвэрлэх явцад тунадасжуулах, сийлбэрлэх процесст зайлшгүй шаардлагатай.
Энэ материал/бүтээгдэхүүнийг ашиглах тусгай хэрэглээ, дүрэм журам нь улс орон, салбар, зорилгоос хамааран өөр өөр байж болохыг анхаарна уу. Энэ материал/бүтээгдэхүүнийг ямар ч хэрэглээнд ашиглахаасаа өмнө аюулгүй байдлын зааврыг үргэлж дагаж, мэргэжилтэнтэй зөвлөлд.
